場發(fā)射掃描電子顯微鏡簡介場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。先進(jìn)的鏡筒設(shè)計(jì)，高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了低電壓高分辨率成像，同時(shí)磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動(dòng)功能、精心設(shè)計(jì)的人機(jī)交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無論經(jīng)驗(yàn)是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務(wù)。

蔡司Crossbeam 550高分辨率掃描電子顯微鏡 蔡司Crossbeam 550是一款結(jié)合了高分辨率場發(fā)射掃描電鏡（FE-SEM）和新一代聚焦離子束（FIB）的雙束掃描電子顯微鏡。該設(shè)備不僅具備出色的成像和分析性能，還擁有優(yōu)異的加工能力。

掃描電子顯微鏡 國儀量子 高分辨 SEM3300 國儀量子推出的SEM3300是世界上分辨率最高的商用鎢燈絲掃描電子顯微鏡。該顯微鏡具有性價(jià)比高、易于維護(hù)、操作相對(duì)簡單以及對(duì)場地要求較小等特點(diǎn)，便于大眾使用。SEM3300在20 kV分辨率達(dá)到2.5 nm，比普通鎢燈絲電鏡提高了16%，在任意電壓下都表現(xiàn)出分辨力。

鎢燈絲掃描電子顯微鏡SEM2000 SEM2000是一款基礎(chǔ)款的多功能分析型鎢燈絲掃描電鏡。20?kV分辨率可以做到3.9?nm，支持升級(jí)30?kV電壓，可觀察亞微級(jí)尺度樣品的微觀結(jié)構(gòu)信息。擁有比臺(tái)式電鏡更大的移動(dòng)范圍，適用于快速篩選待測樣品，更多的擴(kuò)展接口，可搭載BSED、EDS等附件，使應(yīng)用領(lǐng)域更廣。

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡 SEM5000X SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計(jì)、高壓隧道技（SuperTun nel）以及鏡筒工藝升級(jí)，實(shí)現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設(shè)計(jì)的樣品倉，擴(kuò)展接口增加至16個(gè)，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴(kuò)展 應(yīng)用范圍。

FIB DB500 聚焦離子束電子束 雙束顯微鏡 DB500 擁有自主可控的場發(fā)射電子鏡筒和“承影”離子鏡筒， 是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具。高壓隧道技術(shù) （SuperTunnel）、 低像差無漏磁物鏡 設(shè)計(jì)， 低電壓高分辨率成像， 保證納米分析能力。“承影” 離子鏡筒采用液態(tài)鎵離子源， 擁有高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流， 保證納米加工能力。